工業(yè)潔凈室重點以無生命的微粒為控制對象,側(cè)重點為塵埃粒子檢測。主要控制空氣塵埃微粒對故障對象的污染,內(nèi)部一般保持正壓狀態(tài)。它適用于精密機械工業(yè)、電子工業(yè)(半導(dǎo)體、集成電路等)宇航工業(yè)、高純度化學工業(yè)、原子能工業(yè)、光磁產(chǎn)品工業(yè)(光盤、膠片、磁帶產(chǎn)生)LCD(液晶玻璃)、計算機硬盤、計算機磁頭生產(chǎn)等行業(yè)。

潔凈室竣工后,再投入使用之前,首先要經(jīng)過第三方檢測機構(gòu)的檢測,并且取得生物安全實驗室檢測合格報告,然后徹底消毒以后,才能正常使用。
正常使用的潔凈室也需要定期進行性能測試,以確保潔凈室或潔凈區(qū)始終符合相應(yīng)的規(guī)范要求。潔凈室(區(qū))認證檢測的基本內(nèi)容包含空氣潔凈度等級、靜壓差和風速、風量的測定,且潔凈室或潔凈區(qū)性能測試認證工作應(yīng)由專門檢測認證單位承擔,并提交檢測報告。GB 50073-2013《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》對潔凈室主要的檢測參數(shù)周期做了相應(yīng)的規(guī)定!
空氣潔凈度測試周期至少每一年檢測一次。規(guī)范規(guī)定:空氣潔凈度等級≤5級,空氣潔凈度等級認證測試最長時間間隔為 6 個月;空氣潔凈度等級>5級,空氣潔凈度等級認證測試最長時間間隔為12個月。
如出現(xiàn)大修,空氣過濾異常,生產(chǎn)產(chǎn)品不合格疑似環(huán)境問題導(dǎo)致時,也需要進行潔凈室檢測。

在A、B、C、D級潔凈區(qū)塵埃粒子測試中A級、B級的采樣量每個點不少1000L實際每個點采樣量為50L/min×20min×1次,C級、D級的采樣量實際每個點為50L/min×1min×2次。
1 、測試條件
1.1靜態(tài)是指所有生產(chǎn)設(shè)備均已安裝就緒,但沒有生產(chǎn)活動且無操作人員在場的狀態(tài)。凈化空調(diào)系統(tǒng)至少運行30分鐘后方可進行測試。
1.2動態(tài)是指生產(chǎn)設(shè)備按預(yù)定的工藝模式運行并有規(guī)定數(shù)量的操作人員在現(xiàn)場操作的狀態(tài)。
1.3若生產(chǎn)車間停產(chǎn)后要恢復(fù)生產(chǎn),則應(yīng)在車間清潔后在靜態(tài)條件下進行檢測,而連續(xù)生產(chǎn)狀態(tài)下應(yīng)定期進行靜態(tài)檢測及部分區(qū)域的動態(tài)監(jiān)測。
2 、測試準備
2.1 在平面圖上標明取樣點以便常規(guī)取樣。
2.2檢查塵埃粒子計數(shù)器是否正常,并作外表潔凈后方可進入潔凈室,采樣管須清潔并無滲漏,儀器預(yù)熱至穩(wěn)定。
3 、注意事項
3.1 對不同級別潔凈室,測定時應(yīng)按粒子數(shù)從少到多的順序檢測。
3.2更換測試點時,應(yīng)待儀器讀數(shù)下降至穩(wěn)定后開始測試。
3.3靜態(tài)監(jiān)測時進入潔凈室的人員不應(yīng)超過二人;動態(tài)監(jiān)測應(yīng)在正常生產(chǎn)狀態(tài)下進行。
4、采樣方法、采樣量及監(jiān)測頻次
4.1采樣方法:一般在離地面0.8—1.5m高度的水平面上(工作面)布點,采樣點數(shù)目不少于2個,總采樣次數(shù)不少于5次。
面積(平方米) | 采樣點數(shù)(個) |
<10 | 2-3 |
10 | 4 |
20 | 50 |
40 | 6-7 |
100 | 10 |

每個采樣點的平均粒子數(shù)須低于或等于規(guī)定的級別界限。
全部采樣點的粒子數(shù)平均值的95%置信上限不超過標準規(guī)定的界限。